SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

典型應(yīng)用

1.數(shù)控機(jī)床的線(xiàn)性測(cè)量；

2.線(xiàn)性模組的定位精度測(cè)量；

3.實(shí)驗(yàn)室作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)；

4.數(shù)控機(jī)床傾斜軸的線(xiàn)性測(cè)量；

5.小角度測(cè)量；

6.直驅(qū)電機(jī)的角度測(cè)量；

7.直線(xiàn)導(dǎo)軌的平行度測(cè)量；

8.設(shè)備直線(xiàn)度測(cè)量；

9.大理石平臺(tái)的平面度測(cè)量；

10.三坐標(biāo)的垂直度測(cè)量；

11.設(shè)備導(dǎo)軌垂直度測(cè)量；

12.雙軸測(cè)量。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)；

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)；

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s；

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度；

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。

應(yīng)用范圍廣

①SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)；

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析；

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。